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產(chǎn)品中心 材料樣品檢測(cè)
材料樣品檢測(cè) 真空探針臺(tái)
真空探針臺(tái) KT-0904T-R小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)
KT-0904T-R小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)
 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                  小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-R主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)高溫的變溫測(cè)量環(huán)境,以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果誤差。
product
產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | 鄭科探 | 
|---|
小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-R
高溫?zé)o氧化測(cè)試:
 當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)
 越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤
 差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵
 抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,探針座位于腔體外部,可以在不破壞真空度的同時(shí)調(diào)整探針達(dá)到理想位置進(jìn)行測(cè)量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。


小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-RL參數(shù)
| 真空腔體 | |
| 類(lèi)型 | 加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃ | 
| 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | 
| 腔體內(nèi)尺寸 | φ90x40mm | 
| 腔體上視窗尺寸 | Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm) | 
| 腔體抽氣口 | KF16 | 
| 腔體進(jìn)氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 | 
| 腔體出氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 | 
| 腔體正壓 | ≤0.05MPa | 
| 腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘) | 
| 樣品臺(tái) | |
| 樣品臺(tái)材質(zhì) | 304不銹鋼 | 
| 樣品臺(tái)尺寸 | 26X26mm | 
| 樣品臺(tái)-視窗 距離 | 30mm(可選凹視窗間距15mm) | 
| 樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | A 級(jí)PT100鉑電阻 | 
| 樣品臺(tái)溫度 | 室溫到350℃(可選高低溫樣品臺(tái) 高溫350℃低溫-190℃) | 
| 樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.2℃ | 
| 樣品臺(tái)變溫速率 | 高溫10℃/min 低溫5℃/min 最大值 | 
| 溫控儀 | |
| 溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | 
| 溫控類(lèi)型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫) | 
| 溫度分辨率 | 0.1℃ | 
| 溫控精度 | ±0.5℃ | 
| 溫度信號(hào)輸入類(lèi)型 | PT100熱電阻 (可選 K S B型熱電偶) | 
| 溫控輸出 | 直流線(xiàn)性電源加熱(液氮流量線(xiàn)性控制液氮制冷) | 
| 輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線(xiàn)+歷史溫度曲線(xiàn) | 
| 探針 | |
| 電信號(hào)接頭 | 配線(xiàn)轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線(xiàn)長(zhǎng)1.2米 | 
| 電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | 
| 探針數(shù)量 | 4探針(可定做6探針) | 
| 探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 | 
| 探針尖 | 10μm | 
| 探針移動(dòng)平臺(tái) | |
| X軸移動(dòng)行程 | 12mm ±6mm | 
| X軸控制精度 | ≤5μm | 
| Y軸移動(dòng)行程 | 12mm ±6mm | 
| Y軸控制精度 | ≤5μm | 
| Z軸移動(dòng)行程 | 12mm ±6mm | 
| Z軸控制精度 | ≤5μm | 
| 數(shù)碼顯微鏡 | |
| 顯微鏡類(lèi)別 | 物鏡放大+電子放大 | 
| 顯微鏡放大倍數(shù) | 100倍 | 
| 顯微鏡工作間距 | 50-150mm | 
| 相機(jī)分辨率 | 1080P 60幀 | 
| 相機(jī)信號(hào)輸出 | HDMI輸出+USB輸出 | 
| LED可調(diào)光源 | LED光源 | 
| 顯示屏 | 5寸 屏幕一體機(jī) |